真空镀膜机的冷却系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920805492.X
IPC分类号：C23C14/22;C23C14/54;C23C16/44;C23C16/52
申请日期：
2019-05-30
申请人：
深圳市创基真空科技有限公司

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专利名称	真空镀膜机的冷却系统
申请号	CN201920805492.X	申请日期	2019-05-30
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/22 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;2;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;C;2;3;C;1;6;/;5;2查看分类表>
申请人	深圳市创基真空科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区沙井街道沙头工业区民福路8号之2栋三层;在松岗街道潭头第三工业区C7栋设有经营场所从事生产经营活动变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市创基真空科技有限公司	当前权利人	深圳市创基真空科技有限公司
发明人	张德军
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型涉及一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体、热交换管道组、出水温度检测装置、进水流量控制装置、控制器和出水管，热交换管道组设置有进水口和出水口，出水管与出水口相连通，进水流量控制装置与进水口相连通，出水温度检测装置用于检测从出水口中流出水的温度，进水流量控制装置用于控制进入进水口处的进水流量大小，出水温度检测装置将检测到的实时出水温度值传递给控制器，控制器内预设置有基准出水温度值以与接收到的实时出水温度值进行比较，并根据比较结果去控制进水流量控制装置工作，以增大或者缩小进水流量。本实用新型具有能够根据不同的降温需要及时将真空镀膜机腔体的内部温度迅速降至所需温度的效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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