以预成型金属为基材的微电铸铸模及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN02155870.1
IPC分类号：--
申请日期：
2002-12-12
申请人：
财团法人工业技术研究院

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法律信息

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著录项信息

专利名称	以预成型金属为基材的微电铸铸模及其制造方法
申请号	CN02155870.1	申请日期	2002-12-12
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2004-06-23	公开/公告号	CN1506500
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	财团法人工业技术研究院	申请人地址	台湾省新竹县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	财团法人工业技术研究院	当前权利人	财团法人工业技术研究院
发明人	李裕文;姚良瑜;梁兆均;庄政恩;吴清沂
代理机构	隆天国际知识产权代理有限公司	代理人	楼仙英;陈红

摘要

本发明是一种以预成型金属为基材的微电铸铸模及其制造方法，使用预成形金属为基材可避免电铸金属残留应力造成的微电铸铸模变形；本发明的制造方法包含有：在研磨抛光完成的预成形金属基材表面形成一层焊接材料，并形成高深宽比的光阻微结构在金属基材与焊接材料的表面，再进行电铸使电铸材料填入光阻微结构的间隙形成电铸的金属微结构，利用热处理使焊接材料接合金属基板与金属微结构同时烧除光阻微结构形成微电铸铸模；本发明缩短电铸时间为现有技术所需电铸时间的三分之一，延长微电铸铸模所能重复使用的次数达现有技术的三倍以上。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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