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成膜方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210576159.9
  • IPC分类号:C23C16/44;C23C16/40
  • 申请日期:
    2012-12-26
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称成膜方法
申请号CN201210576159.9申请日期2012-12-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-07-03公开/公告号CN103184429A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;C;2;3;C;1;6;/;4;0查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人古屋治彦;小川淳;上西雅彦;伊势昌之;榎美贵
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)代理人刘新宇;张会华
摘要
本发明提供一种成膜方法,其是在成膜装置中进行的成膜方法,该成膜装置包括用于载置多个晶圆的旋转台;在旋转台的上方划分的第一反应气体供给区域、第二反应气体供给区域;以及用于分离第一反应气体供给区域和第二反应气体供给区域的分离区域,该成膜方法包括如下步骤:不向第二反应气体供给区域供给反应气体,向第一反应气体供给区域供给第一反应气体,通过旋转台的旋转使晶圆暴露于第一反应气体,从而使该气体吸附于晶圆表面;接着该步骤,不向第一反应气体供给区域供给反应气体,向第二反应气体供给区域供给第二反应气体,通过旋转台的旋转使晶圆暴露于第二反应气体,从而使吸附于晶圆表面的第一反应气体与第二反应气体反应。

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