一种用于硅片干燥的烘干槽机构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202221844522.6
IPC分类号：F26B9/10;F26B21/00;F26B25/00;H01L21/67
申请日期：
2022-07-18
申请人：
无锡京运通科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种用于硅片干燥的烘干槽机构
申请号	CN202221844522.6	申请日期	2022-07-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F26B9/10 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F26 干燥 F26B 从固体材料或制品中消除液体的干燥（联合收割机的干燥装置入A01D 41/133；干燥果实或疏菜用的框架入A01F 25/12；干燥食品入A23；干燥头发入A45D 20/00；干燥身体的器具入A47K 10/00；干燥家庭物品入A47L；干燥气体或蒸汽入B01D；脱水或类似的从固体分离出液体的化学或物理方法入B01D 43/00；离心设备入B04；干燥陶瓷器入C04B 33/30；与其他处理方式结合的干燥纱线或纤维入D06C；没有加热或正向空气循环的洗衣用干燥框架，家用洗衣干燥机或旋转式脱水机，拧干或热压洗衣入D06F；炉、窑、烘烤炉入F27） F26B9/00 静态下或只是局部摇动干燥固体材料或制品的机器或设备；家用晾晒柜 F26B9/10 在露天中；在室内盘状容器或台架中；干燥松散材料堆	IPC分类号	F;2;6;B;9;/;1;0;;;F;2;6;B;2;1;/;0;0;;;F;2;6;B;2;5;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	无锡京运通科技有限公司	申请人地址	江苏省无锡市惠山工业转型集聚区（北惠路）变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡京运通科技有限公司	当前权利人	无锡京运通科技有限公司
发明人	冯震坤;代正华
代理机构	无锡睿升知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	肖晨

摘要

本实用新型公开了一种用于硅片干燥的烘干槽机构，包括箱体和盖体，所述箱体的底部外壁固定连接有两个电机，电机输出轴的一端固定连接有叶轮，所述箱体的多侧内壁卡接有第一镂空板，第一镂空板的上表面设置有多个加热器，且箱体的多侧内壁卡接有防护网，所述箱体的多侧内壁卡接有第二镂空板，第二镂空板的上表面固定连接有多个放置槽，所述箱体的两侧内壁分别转动连接有螺纹杆，螺纹杆的圆周一侧螺纹连接有调节板，调节板的底部固定连接有三角导向条，且螺纹杆的一端固定连接有限位块。本实用新型可以对不同时间对硅片烘干的不同区域温度作调整，提升硅片的烘干效果，保障了硅片的生产使用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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