薄膜厚度测量单元及包括其的薄膜沉积装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201610247838.X
IPC分类号：--
申请日期：
2016-04-20
申请人：
三星显示有限公司

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著录项信息

专利名称	薄膜厚度测量单元及包括其的薄膜沉积装置
申请号	CN201610247838.X	申请日期	2016-04-20
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2017-04-12	公开/公告号	CN106560525A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	三星显示有限公司	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三星显示有限公司	当前权利人	三星显示有限公司
发明人	薛在完
代理机构	北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司	代理人	王达佐;刘铮

摘要

提供了薄膜厚度测量单元及包括其的薄膜沉积装置。作为示例，薄膜厚度测量单元包括：第一驱动电机；第一旋转轴，连接至所述第一驱动电机；第二旋转轴，倾斜地布置以与第一旋转轴形成预定角度；第一驱动力传递连结件，连接在所述第一旋转轴与所述第二旋转轴之间，并且随着所述第一旋转轴被驱动而驱动以使所述第二旋转轴一同被驱动；支承板，与所述第二旋转轴垂直地连接至所述第二旋转轴端部并且随着所述第二旋转轴的驱动而旋转；以及多个感测器，布置在所述支承板的一表面处并且测量由沉积源蒸发的沉积物质的量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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