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导电性多孔陶瓷基板及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910598815.7
  • IPC分类号:C04B38/00;C04B35/46
  • 申请日期:
    2019-07-04
  • 申请人:
    脉科技股份有限公司;特立恩股份有限公司
著录项信息
专利名称导电性多孔陶瓷基板及其制造方法
申请号CN201910598815.7申请日期2019-07-04
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-01-14公开/公告号CN110683856A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C04B38/00IPC分类号C;0;4;B;3;8;/;0;0;;;C;0;4;B;3;5;/;4;6查看分类表>
申请人脉科技股份有限公司;特立恩股份有限公司申请人地址
韩国大邱达西区城西西路47街19 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人脉科技股份有限公司,特立恩股份有限公司当前权利人脉科技股份有限公司,特立恩股份有限公司
发明人金炳学;白承佑;崔準凡;金仁雄;郑宗烈;李春茂;金圭夏;愼仁范
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司代理人马爽;臧建明
摘要
本发明涉及一种导电性多孔陶瓷基板及其制造方法,更具体而言,涉及一种为了不使用作以真空吸附固定较薄的半导体晶片基板或显示基板的吸盘或载台等的多孔陶瓷基板产生静电而附加有抗静电功能的导电性多孔陶瓷基板及其制造方法。

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