基于LNOI薄膜的集成微型光幅相控制器

发明专利有效专利

申请号：
CN202010711874.3
IPC分类号：G02F1/035;G02F1/225
申请日期：
2020-07-22
申请人：
北京工业大学

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专利名称	基于LNOI薄膜的集成微型光幅相控制器
申请号	CN202010711874.3	申请日期	2020-07-22
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-23	公开/公告号	CN111812868A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/035 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/03 基于陶瓷或电—光晶体的，例如，显示泡克耳斯（Pockels）或科尔（Kerr）效应的（G02F 1/061优先）〔2，4，7〕 G02F1/035 在光波导结构中的〔5〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;0;3;5;;;G;0;2;F;1;/;2;2;5查看分类表>
申请人	北京工业大学	申请人地址	北京市朝阳区平乐园100号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京工业大学	当前权利人	北京工业大学
发明人	王云新;王大勇;李可心;杨登才;赵洁;戎路;保剑锋
代理机构	北京思海天达知识产权代理有限公司	代理人	吴荫芳

摘要

基于LNOI薄膜的集成微型光幅相控制器，属于光电子技术领域，由LNOI薄膜上的光波导和行波电极所构成，LNOI薄膜由铌酸锂层与SiO2缓冲层构成，在铌酸锂层上面采用沉积的方法形成铌酸锂异构单模波导构成光波导，在该光波导两侧设置相位控制器电极，构成相位控制单元；之后光波导分为平行两路，在该两路光波导间设置幅度控制器电极，构成幅度控制单元，之后该两路光波导合束进行干涉，作为光的幅相控制后的输出波导。本发明可以根据需求对光场同时进行相位和幅度的调控；并且波导结构为薄膜铌酸锂与氮化硅异构，使得幅相控制器具有低损耗、高调制效率、高集成度等优点，具有潜在经济与应用价值，能够在光探测和光通信领域中得到广泛的应用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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