离子束测量方法和离子注入装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200610149348.2
IPC分类号：H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265;G01T1/29
申请日期：
2006-11-21
申请人：
日新意旺机械股份有限公司

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著录项信息

专利名称	离子束测量方法和离子注入装置
申请号	CN200610149348.2	申请日期	2006-11-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-11-28	公开/公告号	CN101079362
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/244 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/244 检测器；所采用的组件或电路〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;4;4;;;H;0;1;J;3;7;/;3;1;7;;;H;0;1;L;2;1;/;2;6;5;;;G;0;1;T;1;/;2;9查看分类表>
申请人	日新意旺机械股份有限公司	申请人地址	日本京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日新意旺机械股份有限公司	当前权利人	日新意旺机械股份有限公司
发明人	海势头圣;滨本成显;池尻忠司;田中浩平
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	李涛;钟强

摘要

当由前级叶片驱动装置沿y方向驱动前级束约束叶片时，测量经过前级束约束叶片侧面的外部并且入射到前级多点法拉第上的离子束的束电流的变化，以便得到在前级束约束叶片的位置处离子束沿y方向的束电流密度分布。当由后级叶片驱动装置沿y方向驱动后级束约束叶片时，测量经过后级束约束叶片侧面的外部并且入射到后级多点法拉第上的离子束的束电流的变化，以便得到在后级束约束叶片的位置处离子束沿y方向的束电流密度分布。通过使用这些结果，可以得到离子束在y方向中的角度偏差、发散角和/或束尺寸。

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