多层胶片厚度的太赫兹波反射式在线测量方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201810320528.5
IPC分类号：G01B11/06
申请日期：
2018-04-11
申请人：
青岛万龙智控科技有限公司;青岛万龙高新科技集团有限公司

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专利名称	多层胶片厚度的太赫兹波反射式在线测量方法
申请号	CN201810320528.5	申请日期	2018-04-11
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2018-09-28	公开/公告号	CN108592805A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	青岛万龙智控科技有限公司;青岛万龙高新科技集团有限公司	申请人地址	山东省青岛市市北区郑州路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	青岛万龙智控科技有限公司,青岛万龙高新科技集团有限公司	当前权利人	青岛万龙智控科技有限公司,青岛万龙高新科技集团有限公司
发明人	杭柏林;安昌喜;王孔茂
代理机构	青岛中天汇智知识产权代理有限公司	代理人	陈磊

摘要

本发明所述多层胶片厚度的太赫兹波反射式在线测量方法，基于太赫兹技术而实现一种全新的反射式在线测量方法，即先对多层胶片的每个胶层样品进行静态离线测量以标定每个胶层固有材料所导致的实际折射率，以建立后续在线测量厚度的计算对标，利用太赫兹的非接触、高反射性、高精度、无损伤等特性，实现对多层胶片的现场动态测量，以期达到厚度检测的准确度、稳定性的相关标准，进而为多层胶片厚度均匀性检测提供了一种有效的新方法。所述反射式在线测量方法，在线测量过程中，同一组太赫兹波的发射装置与接收装置位于被测量对象的同一侧；利用太赫兹波反射特性，计算出不同层面反射波到达的时间差与强度变化，得出符合以下公式的n层胶片总厚度δ。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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