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一种一体化高精度的柔性温度传感器及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910241696.X
  • IPC分类号:G01K7/18
  • 申请日期:
    2019-03-27
  • 申请人:
    电子科技大学
著录项信息
专利名称一种一体化高精度的柔性温度传感器及其制备方法
申请号CN201910241696.X申请日期2019-03-27
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2019-05-31公开/公告号CN109827674A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01K7/18IPC分类号G;0;1;K;7;/;1;8查看分类表>
申请人电子科技大学申请人地址
四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人电子科技大学当前权利人电子科技大学
发明人黎威志;熊丽;刘杨;张天;高若尧;杜晓松;太惠玲
代理机构成都弘毅天承知识产权代理有限公司代理人李春霖
摘要
本发明公开了一种一体化高精度的柔性温度传感器,属于柔性传感器领域,包括柔性衬底,所述柔性衬底上下表面对称设置有凸台,所述凸台的高度为25‑35μm,所述柔性衬底上表面的凸台上设置有温度敏感单元,所述柔性衬底下表面的凸台上设置有温度补偿单元,所述温度敏感单元和温度补偿单元串联,本发明能够有效的减少柔性衬底形变带来的影响,提高柔性传感器的精度。

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