一种用于PECVD设备的自动上下料装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201210073162.9
IPC分类号：H01L21/67;B25J13/00
申请日期：
2012-03-20
申请人：
深圳市大族光伏科技股份有限公司

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专利名称	一种用于PECVD设备的自动上下料装置
申请号	CN201210073162.9	申请日期	2012-03-20
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-10-03	公开/公告号	CN102709212A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;B;2;5;J;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	深圳市大族光伏科技股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区万延工业区第六栋101 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市大族光伏装备有限公司	当前权利人	深圳市大族光伏装备有限公司
发明人	王俊朝;王滋润;蔡朋涛;李军阳
代理机构	深圳市君盈知识产权事务所（普通合伙）	代理人	陈琳

摘要

本发明涉及一种用于PECVD设备的自动上下料装置，包括控制模块和支座；支座上设置有用于放置石墨舟的储舟位、小车和桨位，以及设置有用于完成石墨舟在储舟位、小车和桨位上存取的机械手；支座上还设置有用于控制机械手在水平方向运动的水平运动单元，和用于控制机械手在垂直方向上下运动的垂直运动单元；控制模块与PECVD设备的上位机连接，用于根据储舟位、小车和桨位上有无石墨舟的状态信号、以及上位机的取石墨舟、装石墨舟信号来控制水平运动单元和垂直运动单元驱动机械手动作。本发明可以做到定位准确，装卸石墨舟效率高，降低了操作员的工作强度，不会损坏石墨舟，且镀膜均匀性好，同时还能大大延长石墨舟的使用寿命。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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