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与批式炉偕同使用的用于储存晶圆匣的储存装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201880072629.3
  • IPC分类号:H01L21/677
  • 申请日期:
    2018-11-26
  • 申请人:
    阿斯莫IP控股公司
著录项信息
专利名称与批式炉偕同使用的用于储存晶圆匣的储存装置
申请号CN201880072629.3申请日期2018-11-26
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2020-06-19公开/公告号CN111316417A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人阿斯莫IP控股公司申请人地址
荷兰阿尔梅勒 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人阿斯莫IP控股公司当前权利人阿斯莫IP控股公司
发明人A·加尔森
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人丁晓峰
摘要
揭露了一种储存装置,其与用于批处理支承于晶舟中的晶圆的至少一个批式炉偕同使用。该储存装置包含贮匣旋转料架,用于储存多个晶圆匣于可旋转平台层上。旋转料架壳体限定出容纳该平台层于其中的迷你环境腔室。该储存装置的气体再循环回路随后包含气体入口通道、气体入口过滤器、该迷你环境腔室、在该旋转料架壳体的底壁中的多个气体出口开孔、限定充气部腔室的充气部壳体、充气部腔室出口、使该充气部腔室出口连接至该气体入口导管的入口端的气体循环泵。

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