基板处理装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201780048591.1
IPC分类号：B65H26/00;B65G49/06;B65H23/188;G03F7/20;G03F7/24;H01L21/677;H01L21/683
申请日期：
2017-08-07
申请人：
株式会社尼康

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基板处理装置
申请号	CN201780048591.1	申请日期	2017-08-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-04-02	公开/公告号	CN109562902A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B65H26/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 B65H 搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索 B65H26/00 警告或安全装置，如故障自动检测器、停止运动机构、用于条材送进机构的（一般安全装置入F16P；物料的化学或物理性质的一般研究入G01N；一般显示装置入G08B）〔4〕	IPC分类号	B;6;5;H;2;6;/;0;0;;;B;6;5;G;4;9;/;0;6;;;B;6;5;H;2;3;/;1;8;8;;;G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;7;/;2;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人	株式会社尼康	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社尼康	当前权利人	株式会社尼康
发明人	鬼头义昭;加藤正纪;奈良圭;堀正和;木内徹
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	孙乳笋;王涛

摘要

一种将长条的片状基板于长条方向上搬送并对片状基板实施既定的处理的基板处理装置，且设置有：处理机构，其对片状基板的长条方向的每一部分实施既定的处理；搬送机构，其一面对通过处理机构的片状基板赋予既定的张力，一面将片状基板按照既定速度于长条方向上搬送；卡留机构，其配置于片状基板的搬送路径中的既定位置，且能够将片状基板卡留于既定位置；以及控制装置，其于暂时停止片状基板的搬送的情形时，以使片状基板的搬送速度降低的方式控制搬送机构，并且以于搬送速度成为既定值以下的时点将片状基板卡留于既定位置的方式控制卡留机构。

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