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一种自动定位并校准晶圆中心的装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202023035004.3
  • IPC分类号:H01L21/68;H01L21/683
  • 申请日期:
    2020-12-16
  • 申请人:
    福州大学
著录项信息
专利名称一种自动定位并校准晶圆中心的装置
申请号CN202023035004.3申请日期2020-12-16
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/68IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人福州大学申请人地址
福建省福州市闽侯县福州大学城乌龙江北大道2号福州大学 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人福州大学当前权利人福州大学
发明人陈剑雄;张辉;潘文斌;余林康
代理机构福州元创专利商标代理有限公司代理人丘鸿超;蔡学俊
摘要
本实用新型涉及一种自动定位并校准晶圆中心的装置,包括基座、线性传感器、光纤、传感器固定座、晶圆吸盘装置、晶圆顶起机构、吸盘旋转机构、第一直线运动机构和第二直线运动机构,吸盘旋转机构安装于第一直线运动机构上,以在其驱动下前后移动,晶圆吸盘装置安装于吸盘旋转机构上,以在其驱动下旋转,晶圆吸盘装置上放置晶圆,以支撑并真空吸住晶圆,晶圆顶起机构安装于晶圆吸盘装置旁侧的基座上,以在校准误差时将晶圆从晶圆吸盘装置上顶起,线性传感器和光纤安装于传感器固定座上,传感器固定座位于晶圆旁侧并安装于第二直线运动机构上,以在其驱动下前后移动。该装置有利于快速、精确地定位并校准晶圆中心。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供