一种零点可调高冲击传感器芯片及其制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201218007731.0
IPC分类号：G01P15/12
申请日期：
2012-12-26
申请人：
北京理工大学

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著录项信息

专利名称	一种零点可调高冲击传感器芯片及其制作方法
申请号	CN201218007731.0	申请日期	2012-12-26
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/12 应用电阻值的改变	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;1;2查看分类表>
申请人	北京理工大学	申请人地址	北京市海淀区中关村南大街5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京理工大学	当前权利人	北京理工大学
发明人	张振海;李科杰
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种零点可调高冲击传感器芯片及其制作方法，属于武器装备测试技术领域。利用表面硅加工工艺，在芯片上加工若干组调零排阻和互连线电路，调零排阻和桥臂电阻串联或并联，实现电桥的零点输出的调节。并且每组内的调零排阻之间通过金丝形成电气互连，金丝在压阻条之间键合，根据需要勾断其中的一部分来控制接入桥路的排阻数量，以控制串入或并入补偿的总体阻值，所需的勾断数量由零点输出的不平衡桥压决定。本发明的芯片级调零，减除了设计和配置外围电路的需要，降低了压阻式高冲击传感器电桥平衡电路的复杂性，节省了大量装配空间，易于加工，操作便捷，大大提高了高冲击传感器的实用性。

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