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一种化学水浴沉积镀膜装置

实用新型有效专利
  • 申请号:
    CN201821416485.2
  • IPC分类号:C23C18/16
  • 申请日期:
    2018-08-30
  • 申请人:
    北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
著录项信息
专利名称一种化学水浴沉积镀膜装置
申请号CN201821416485.2申请日期2018-08-30
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C18/16IPC分类号C23C18/16查看分类表>
申请人北京铂阳顶荣光伏科技有限公司申请人地址
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路665*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海祖强能源有限公司当前权利人上海祖强能源有限公司
发明人刘耀军
代理机构北京金信知识产权代理有限公司代理人喻嵘;郭迎侠
摘要
本实用新型公开了一种化学水浴沉积镀膜装置,其包括反应装置、第一伸缩机构和第二伸缩机构,所述第一伸缩机构和第二伸缩机构均支撑于所述反应装置的底部并且相对设置,用于交替伸缩以带动所述反应装置摆动。本实用新型的化学水浴沉积镀膜装置,通过第一伸缩机构和第二伸缩机构交替伸缩带动反应装置摆动,使反应装置内的反应药液混合效果较好,镀设的膜层均匀度较高,且反应药液使用量相对较小。

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