基于分节PSD的差动式振动加速度传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN201510046845.9
IPC分类号：G01H9/00;G01P15/03
申请日期：
2015-01-30
申请人：
中国计量学院

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著录项信息

专利名称	基于分节PSD的差动式振动加速度传感器
申请号	CN201510046845.9	申请日期	2015-01-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2015-05-06	公开/公告号	CN104596635A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01H9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01H 机械振动或超声波、声波或次声波的测量〔4〕 G01H9/00 应用对辐射敏感的装置，例如光学装置，测量机械振动或超声波、声波或次声波	IPC分类号	G;0;1;H;9;/;0;0;;;G;0;1;P;1;5;/;0;3查看分类表>
申请人	中国计量学院	申请人地址	浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国计量学院	当前权利人	中国计量学院
发明人	包立峰;沈常宇
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种基于分节PSD的差动式振动加速度传感器，由基座，封装外壳，半导体激光器，分光棱镜，夹具，参考镜，弹性材料块，预压弹簧，螺钉，分节PSD1,分节PSD2,测量镜，质量块，固定孔组成。半导体激光器发出的激光经分光棱镜产生相互垂直的入射光分别入射到参考镜和测量镜，再分别反射到分节PSD1,分节PSD2光敏面上；有振动时测量镜反射光斑将偏离PSD1中点，形成基于分节PSD1和分节PSD2的差动测量结构，通过参考镜与测量镜反射光斑位置偏移量之差来测量振动加速度的大小，该发明灵敏度高、工作温度范围宽和配置电路简单，具有良好的应用前景。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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