加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

光刻设备和运行该设备的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200910173503.8
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2009-09-15
  • 申请人:
    ASML荷兰有限公司
著录项信息
专利名称光刻设备和运行该设备的方法
申请号CN200910173503.8申请日期2009-09-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-03-24公开/公告号CN101676804
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人ASML荷兰有限公司申请人地址
荷兰维德霍温 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人ASML荷兰有限公司当前权利人ASML荷兰有限公司
发明人J·P·J·布鲁依杰斯腾斯,R·J·布鲁尔斯,H·詹森,S·兰德柯尔,A·J·梅斯特,B·詹森,I·A·J·托马斯,M·A·C·米兰达,G·特纳萨
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人王新华
摘要
本发明公开一种光刻设备和运行该光刻设备的方法。所述光刻设备包括投影系统,和液体限制结构,该液体限制结构配置用以至少部分地将浸没液体限制到由投影系统、所述液体限制结构和衬底和/或衬底台所限定的浸没空间,其中在投影系统、液体限制结构和浸没空间内的浸没液体之间限定湿润气体空间,该湿润气体空间配置用以限制湿润气体。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供