一种真空镀膜用旋转阴极

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202021892277.7
IPC分类号：C23C14/34
申请日期：
2020-09-02
申请人：
成都齐荣科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种真空镀膜用旋转阴极
申请号	CN202021892277.7	申请日期	2020-09-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	成都齐荣科技有限公司	申请人地址	四川省成都市经济技术开发区(龙泉驿区)星光西路24号实德工业园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	成都齐荣科技有限公司	当前权利人	成都齐荣科技有限公司
发明人	李忠
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜用旋转阴极，安装座、外接管、内接管和固定座，所述外接管一端与安装座旋转连接，另一端经一靶管与固定座旋转连接，所述内接管一端固定在安装座上，另一端经一芯管与固定座连接，所述内接管位于外接管内，芯管位于靶管内，内接管和芯管导通，所述芯管与靶管之间还设置有螺旋桨。本实用新型具有的优点是在芯管和靶管的连接拐点处，设置了一个螺旋桨，该螺旋桨由靶管带动一起旋转，形成一个吸力，将该处的水快速地抽出，加快了水流的整体速度，提高了对靶管的冷却效果，并且还避免水流在该处积压，对该处的结构造成巨大压力，从而破坏该处的连接结构，避免出现冷却水泄漏的可能性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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