具有碳纳米管结构的随机存储器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN02239613.6
IPC分类号：--
申请日期：
2002-07-05
申请人：
中国科学院物理研究所

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有碳纳米管结构的随机存储器
申请号	CN02239613.6	申请日期	2002-07-05
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院物理研究所	申请人地址	北京市海淀区中关村南三街8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院物理研究所	当前权利人	中国科学院物理研究所
发明人	赵继刚;王太宏
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	王凤华

摘要

本实用新型涉及一种具有碳纳米管结构的随机存储器，包括以Si作为衬底，该衬底上有SiO2绝缘层、碳纳米管、栅极和电极；栅极位于Si衬底上SiO2绝缘层中的一条沟槽之中，其内沉积Al及经表面氧化形成的Al2O3绝缘层，栅极并与一电阻相连接，该电阻与恒压源相连接；两电极平行于栅极在栅极两侧，位于碳纳米管之上或之下，其第二电极还带有一条方向与栅极垂直的一段，该段与栅极相接触，其中第一电极接地，第二电极与开关相连接，同时栅极与第二电极在衬底上短路相连；一根碳纳米管垂直于栅极和两个独立的电极，平直放置在SiO2绝缘层的表面上，并与Al2O3绝缘层表面和电极表面相接触。该存储器容量为1bit的信息存储，且结构简单，易于制作和集成。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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