二极管碱腐蚀机

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020170325.1
IPC分类号：H01L21/00;H01L21/329
申请日期：
2010-04-26
申请人：
贵州雅光电子科技股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	二极管碱腐蚀机
申请号	CN201020170325.1	申请日期	2010-04-26
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;2;9查看分类表>
申请人	贵州雅光电子科技股份有限公司	申请人地址	贵州省贵阳市新添大道北段270号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	贵州雅光电子科技股份有限公司	当前权利人	贵州雅光电子科技股份有限公司
发明人	杨华;杨长福;陈国辉
代理机构	贵阳中新专利商标事务所	代理人	刘楠

摘要

本实用新型公开了一种二极管碱腐蚀机，包括机架（1），在机架（1）上固定有敞口的腐蚀内胆（2），在腐蚀内胆（2）中设有碱腐蚀夹具（3），在碱腐蚀夹具（3）上连接有摆臂（4），摆臂（4）的另一端固定在机架（1）上，在腐蚀内胆（2）底部设有恒温加热板（5）。本实用新型采用在一种可加热的腐蚀装置，并使夹具在腐蚀装置的内胆中移动，可使二极管台面可以被均匀腐蚀，能满足不同工艺的需要，解决了产品加工的一致性，提高了产品质量，降低了生产成本，减少了设备投资，同时也可以改善工人的工作条件，降低工人劳动强度，设备可操作空间大。本实用新型结构简单，容易制作，使用效果好。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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