搬运系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201280040368.X
IPC分类号：H01L21/677;B65G49/06
申请日期：
2012-09-06
申请人：
川崎重工业株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	搬运系统
申请号	CN201280040368.X	申请日期	2012-09-06
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2014-04-16	公开/公告号	CN103733326A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;B;6;5;G;4;9;/;0;6查看分类表>
申请人	川崎重工业株式会社	申请人地址	日本兵库县神户市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	川崎重工业株式会社	当前权利人	川崎重工业株式会社
发明人	坂东贤二
代理机构	上海瀚桥专利代理事务所（普通合伙）	代理人	曹芳玲

摘要

搬运系统（1）具备收纳壳体（12）、升降装置（13）、传递装置（14）和搬运装置（15）。升降装置（13）使收纳壳体（12）升降而使其中的各基板（11）依次位于接收位置。传递装置（14）将接收位置的基板（11）接收后在传递位置上传递给搬运装置（15）。搬运装置（15）具有一对输送带（51、51）。一对输送带（51、51）在左右方向上隔着间隔设置，多个型材（54）相互对应地分别设置在此处。对应的型材（54）形成为向搬运方向一起移动，并且支持在传递位置上被传递的基板（11）的外缘部且将该基板（11）定位在规定位置上的结构。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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