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圆形激光钻孔方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN02811587.2
  • IPC分类号:B23K26/36
  • 申请日期:
    2002-04-11
  • 申请人:
    叶克赛伦自动化公司
著录项信息
专利名称圆形激光钻孔方法
申请号CN02811587.2申请日期2002-04-11
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-07-21公开/公告号CN1514757
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/36IPC分类号B;2;3;K;2;6;/;3;6查看分类表>
申请人叶克赛伦自动化公司申请人地址
美国加利福尼亚 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人叶克赛伦自动化公司当前权利人叶克赛伦自动化公司
发明人斯蒂芬罗杰·布隆梅克;皮埃尔·莱斯佩斯
代理机构上海新天专利代理有限公司代理人吕振萱
摘要
用联合冲钻和凿钻技术和使用不同类型的激光可在层压基片中形成具有基本上直的壁和底部无切除不足区域的通路。首先,沿待钻通路的边界切穿层压基片的顶部铜箔,以形成一个周边沟道。这是用UV激光的凿钻技术完成的。然后,用IR激光烧蚀通路内的介电材料。在这一步骤中,也会去除在凿钻之后留在通路中心区域的铜切断片。IR激光从通路底的铜俘获衬上反射出来,从而为以后的电镀工艺有效地清洁了俘获衬。

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