一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110537525.9
IPC分类号：C04B35/01;C04B35/626;C04B35/622;C23C14/34
申请日期：
2021-05-17
申请人：
先导薄膜材料（广东）有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法
申请号	CN202110537525.9	申请日期	2021-05-17
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-23	公开/公告号	CN113149611A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C04B35/01 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C04 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕 C04B 石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷（微晶玻璃陶瓷入C03C 10/00）；耐火材料（难熔金属的合金入C22C）；天然石的处理〔4〕 C04B35/00 以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物（含有不用作宏观增强剂的，粘接在碳化物、金刚石、氧化物、硼化物、氮化物、硅化物上的游离金属，例如陶瓷或其他金属化合物，例如氧氮化合物或硫化物的入C22C）；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末〔4〕 C04B35/01 以氧化物为基料的〔6〕	IPC分类号	C;0;4;B;3;5;/;0;1;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;6;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	先导薄膜材料（广东）有限公司	申请人地址	广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	先导薄膜材料（广东）有限公司	当前权利人	先导薄膜材料（广东）有限公司
发明人	张来稳;邵学亮;李开杰;朱刘
代理机构	广州三环专利商标代理有限公司	代理人	颜希文

摘要

本发明公开了一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法，属于靶材回收及制备领域。本发明所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法先将ITO废靶坯粉碎至特定颗粒尺寸，随后经过热处理去除粉末中多余的添加剂杂质，最后与球磨助剂按比例混合后进行球磨制粉，所得产品颗粒均匀且密度较高；所述方法无需添加额外新粉原料，操作步骤简单，设备要求低，生产效率及得率高，制备成本低廉。本发明还公开了由所述方法制备的ITO粉末；本发明还公开了一种ITO废靶坯回收制备ITO靶材的方法。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供