分析装置以及分析装置的控制方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110083416.4
IPC分类号：G01N23/2252;G01N23/2251;G01N23/20091
申请日期：
2021-01-21
申请人：
株式会社岛津制作所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	分析装置以及分析装置的控制方法
申请号	CN202110083416.4	申请日期	2021-01-21
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-03	公开/公告号	CN113203765A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N23/2252 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N23/206 （转入G01N 23/205） G01N23/22 通过测量来自材料的二次发射〔1，2，2006.01，2018.01〕 G01N23/221 利用活化分析法〔2〕 G01N23/222 利用中子活化分析〔NAA〕〔3，2006.01〕 G01N23/2251 使用入射电子束，例如扫描电子显微镜〔SEM〕〔2018.01〕 G01N23/2252 测量受激X射线，例如电子探针微量分析〔EPMA〕〔2018.01〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;3;/;2;2;5;2;;;G;0;1;N;2;3;/;2;2;5;1;;;G;0;1;N;2;3;/;2;0;0;9;1查看分类表>
申请人	株式会社岛津制作所	申请人地址	日本京都府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社岛津制作所	当前权利人	株式会社岛津制作所
发明人	坂前浩
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘新宇

摘要

本发明提供一种能够提高分析作业的效率的分析装置以及分析装置的控制方法。分析装置具备：照射装置，其向试样的表面照射电子射线；多个检测器，所述多个检测器分别检测从试样的表面发出的多个检测信号；显示部，其显示与多个检测信号分别对应的多个观察像；以及控制部，其控制照射装置和显示部。分析装置具有将多个观察像中的至少2个观察像同时排列地显示在显示部中的同时显示模式。分析装置还具备存储部，该存储部用于保存包含至少2个观察像的显示条件的观察条件数据。在同时显示模式下，控制部基于保存在存储部中的观察条件数据，使至少2个观察像显示在显示部中。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供