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实时监测泄漏的洁净工作台

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201410717617.5
  • IPC分类号:B01L9/02;B25H1/00
  • 申请日期:
    2014-12-01
  • 申请人:
    上海力申科学仪器有限公司
著录项信息
专利名称实时监测泄漏的洁净工作台
申请号CN201410717617.5申请日期2014-12-01
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2015-03-25公开/公告号CN104437705A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01L9/02IPC分类号B;0;1;L;9;/;0;2;;;B;2;5;H;1;/;0;0查看分类表>
申请人上海力申科学仪器有限公司申请人地址
上海市青浦区青浦工业园区崧泽大道6788号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海力申科学仪器有限公司当前权利人上海力申科学仪器有限公司
发明人吴峻;黄元磊;奚妙林
代理机构上海顺华专利代理有限责任公司代理人沈履君
摘要
本发明实时监测泄漏的洁净工作台,包括:箱体,箱体为一侧开口结构,箱体内部形成工作区;检测结构,检测结构设置在箱体内、位于工作区上部;其中检测结构包括:扫描移动平台,扫描移动平台设置在箱体内、位于工作区上部;移动单元,移动单元设置在扫描移动平台内;扫描探头,扫描探头设置在移动单元上。本发明实时监测泄漏的洁净工作台通过在工作区内安装检测结构,将检测洁净度的探头固定在检测结构中的一条移动轨道上,探头可在轨道内移动,使得在工作台实际使用中,洁净度检测探头沿着轨道逐行扫描,实现泄漏检测,当发现有泄漏存在时,可以实时输出信号,使设备能够及时的发出声光报警信号提示操作人员及时检查维护。

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