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硅通孔结构及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210121165.5
IPC分类号：H01L21/768;H01L23/538
申请日期：
2012-04-23
申请人：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	硅通孔结构及其制造方法
申请号	CN201210121165.5	申请日期	2012-04-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-10-30	公开/公告号	CN103377992A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/768 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/70 由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造（由预制电组件组成的组装件的制造入H05K 3/00，H05K 13/00）〔2〕 H01L21/71 限定在组H01L 21/70中的器件的特殊部件的制造（H01L 21/28，H01L 21/44，H01L 21/48优先）〔6〕 H01L21/768 利用互连在器件中的分离元件间传输电流〔6〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;7;6;8;;;H;0;1;L;2;3;/;5;3;8查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
发明人	张海洋;符雅丽
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本发明提供一种硅通孔结构及其制造方法，先通过在背面处理工艺中将预先在通孔中形成的虚拟材料填充移除，然后在背面向通孔中沉积金属阻挡层，并将预先形成的多晶硅盖层转化为自对准金属硅化物，使得本发明的硅通孔结构与其上的互连器件接触的多晶硅界面平整，阻抗降低，从而使得互连器件结构性能提高；进一步地，本发明的硅通孔结构通过在通孔中填充碳纳米管替代铜，提高芯片堆栈的性能。

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