一种增强型离子源

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821976620.9
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2018-11-28
申请人：
合肥如一真空设备有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种增强型离子源
申请号	CN201821976620.9	申请日期	2018-11-28
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	合肥如一真空设备有限公司	申请人地址	浙江省台州市黄岩区西城羽山村变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	台州市黄岩永恩模具表面处理厂	当前权利人	台州市黄岩永恩模具表面处理厂
发明人	莫申波;周卫星
代理机构	合肥和瑞知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	王挺

摘要

本实用新型涉及一种增强型离子源，属于离子源的技术领域；所述离子源腔室沿工作气体流动方向依次设置有气体入口、气体均布室、气体出口、电离室与离子射出口；所述电离室用于工作气体的电离；所述气体均布室用于工作气体的流速降低和均匀分布。本实用新型设有用于工作气体降低流速、均匀分布的气体均布室，流速进一步的变得缓慢，当为多种工作气体的混合时，也是可以将工作气体更加均匀的混合，在对工作气体进行电离时，测其离子射出口的电流，其远远高于未设置气体均布室时的数据，本实用新型的离子源具有较高的离化效率。

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