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用于外延反应器的石英圆顶的净化的视口

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980062765.9
  • IPC分类号:H01L21/67;H01L21/66
  • 申请日期:
    2019-09-24
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称用于外延反应器的石英圆顶的净化的视口
申请号CN201980062765.9申请日期2019-09-24
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-05-25公开/公告号CN112840444A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人胡积玓;布莱恩·H·伯罗斯;贾纳尔丹·德夫拉詹;舒伯特·S·诸
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司代理人徐金国;赵静
摘要
本文描述的实施方式大致上关于原位计量系统,该原位计量系统能够持续提供到达设置于处理腔室内的基板的不中断的光学途径。在一个实施方式中,提供一种用于基板处理腔室的计量系统。该计量系统包括:传感器观察管件,耦接至基板处理腔室的石英圆顶;凸缘,从该传感器观察管件的外表面径向延伸;以及视口窗,设置在该凸缘上,该视口窗具有针对光学传感器选择的多个光谱范围,该光学传感器设置在该视口窗上或邻近该视口窗。

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