一种微阵列结构图案化的装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202010682179.9
IPC分类号：B81C1/00;B81C99/00
申请日期：
2020-07-15
申请人：
江苏力博医药生物技术股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种微阵列结构图案化的装置
申请号	CN202010682179.9	申请日期	2020-07-15
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-06	公开/公告号	CN113213420A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81C1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22）〔7〕 B81C1/00 在基片内或其上制造或处理的装置或系统（B81C 3/00优先）〔7〕	IPC分类号	B;8;1;C;1;/;0;0;;;B;8;1;C;9;9;/;0;0查看分类表>
申请人	江苏力博医药生物技术股份有限公司	申请人地址	江苏省无锡市江阴市东盛西路78号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏力博医药生物技术股份有限公司	当前权利人	江苏力博医药生物技术股份有限公司
发明人	高宏军;陈芳芳;陈玉平;高明;王布强
代理机构	北京三聚阳光知识产权代理有限公司	代理人	廖慧敏

摘要

本发明提供了一种微阵列结构图案化的装置，解决了现有技术中公开的制作微米级别的阵列图案的设备和仪器的成本高的缺陷，本发明包括冷凝箱和连接管路；所述冷凝箱包括第二腔体，设置在第二腔体上的第二温控部件和第二监测组件，设置在第二腔体内的基底，穿过第二腔体延伸到基底上方的树脂注入通道，用于将基底上冷凝的液态微珠冷却成固态的制冷结构；所述连接管路用于向第二腔体中导入气态介质。本发明的装置具有结构简单、成本低廉等优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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