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一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811049089.5
  • IPC分类号:G01P15/08;G01P15/105;G01P15/13
  • 申请日期:
    2018-09-10
  • 申请人:
    东南大学
著录项信息
专利名称一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置
申请号CN201811049089.5申请日期2018-09-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-01-04公开/公告号CN109142785A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01P15/08IPC分类号G;0;1;P;1;5;/;0;8;;;G;0;1;P;1;5;/;1;0;5;;;G;0;1;P;1;5;/;1;3查看分类表>
申请人东南大学申请人地址
江苏省南京市玄武区四牌楼2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东南大学当前权利人东南大学
发明人杨波;李成;冯雨;王斌龙
代理机构南京众联专利代理有限公司代理人叶涓涓
摘要
本发明提供如了一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置,包括:顶部隧道磁阻传感元件结构、中部敏感部件结构、底部隧道磁阻传感元件结构,中部敏感部件结构为3D打印而成;中部结构通过3D立体支撑梁支撑在基座之上,分别位于中部结构的上下两侧,且关于中部结构上下对称布置。本发明采用3D打印代替硅微加工工艺,尺寸精确、加工便捷;敏感部件采用3D立体支撑梁,在测量上具有可靠性好、灵敏度高、抗干扰能力强等优点,支撑梁和质量块都使用尼龙材料进行3D打印而来,其在水平方向有较好的位移能力,同时在垂直方向有更好的抑制能力;立体支撑梁采用双层“U型”梁相反布置,能有效增强敏感部件的稳定性,提高装置的可靠性。

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