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晶片舟组件及包含晶片舟组件的衬底处理设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710852812.2
  • IPC分类号:H01L21/673
  • 申请日期:
    2017-09-19
  • 申请人:
    三星电子株式会社
著录项信息
专利名称晶片舟组件及包含晶片舟组件的衬底处理设备
申请号CN201710852812.2申请日期2017-09-19
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2018-05-01公开/公告号CN107978545A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人三星电子株式会社申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星电子株式会社当前权利人三星电子株式会社
发明人杨尚烈;全教准;李根泽;林钟欣
代理机构北京市立方律师事务所代理人李娜
摘要
本申请提供晶片舟组件及包含晶片舟组件的衬底处理设备。一种晶片舟组件包括舟、基座和底座。所述舟包括承托晶片的槽和包含气体管线的杆。所述基座包括第一表面、与所述第一表面相反的第二表面以及与所述气体管线耦接的连接管线。所述底座位于所述基座的第二表面上,使所述基座旋转,并向所述连接管线供应气体。所述舟位于所述基座的第一表面上。所述气体沿所述气体管线流动,并从所述杆与所述晶片接触的位置被喷散,以使所述晶片浮起。

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