一种赝竖式氢氧终端金刚石核探测器及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201911414678.3
IPC分类号：H01L31/115;H01L31/028;H01L31/18
申请日期：
2019-12-31
申请人：
西安电子科技大学

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专利名称	一种赝竖式氢氧终端金刚石核探测器及其制备方法
申请号	CN201911414678.3	申请日期	2019-12-31
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-16	公开/公告号	CN113130697A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/115 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/08 其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器〔2〕 H01L31/10 特点在于至少有一个电位跃变势垒或表面势垒的，例如光敏晶体管〔2〕 H01L31/115 对很短波长，如X射线、γ射线或微粒子辐射敏感的器件〔5〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;1;5;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;8;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	西安电子科技大学	申请人地址	陕西省西安市雁塔区太白南路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安电子科技大学	当前权利人	西安电子科技大学
发明人	张金风;苏凯;何琦;任泽阳;张进成;郝跃
代理机构	西安嘉思特知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	李园园

摘要

本发明属于半导体工艺领域，具体涉及一种赝竖式氢氧终端金刚石核探测器及其制备方法，制作金刚石衬底；利用氢等离子体在所述金刚石衬底上分别形成由碳‑氢键覆盖的第一氢终端和第二氢终端；在所述第一氢终端和所述第二氢终端表面分别形成第一金属膜和第二金属膜，并对所述第一金属膜和所述第二金属膜分别进行刻蚀得到第一电极和第二电极；在未被所述第一电极和所述第二电极覆盖的金刚石衬底表面形成钝化层，得到所述金刚石核探测器。具有提高电荷收集效率、改善电场分布、减少死区、提高载流子收集和提升金刚石核探测器的性能的有益效果。

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