一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110640448.X
IPC分类号：G01P15/08;B41M3/00;B41M1/12;B41M1/28;B41M1/30;B41M5/00;C23C14/34;C23C14/20
申请日期：
2021-06-09
申请人：
东南大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法
申请号	CN202110640448.X	申请日期	2021-06-09
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-08-31	公开/公告号	CN113325198A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/08 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;0;8;;;B;4;1;M;3;/;0;0;;;B;4;1;M;1;/;1;2;;;B;4;1;M;1;/;2;8;;;B;4;1;M;1;/;3;0;;;B;4;1;M;5;/;0;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;0查看分类表>
申请人	东南大学	申请人地址	江苏省南京市江宁区东南大学路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东南大学	当前权利人	东南大学
发明人	聂萌;王旭;李可
代理机构	南京瑞弘专利商标事务所（普通合伙）	代理人	吴旭

摘要

本发明公开了一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法，传感器包括柔性衬底、柔性密封顶盖、S形加热元件、S形感温元件以及吸热薄层；柔性顶盖设置于柔性衬底上，两者之间形成密封腔体；S形加热元件固定在密封腔体内的柔性衬底中央；两个S形感温元件固定在密封腔体内的柔性衬底上，并对称分布在S形加热元件的两侧；吸热薄层紧密贴附于密封腔体内部的S形加热元件上；其中，柔性密封顶盖带有热绝缘岛结构，两个热绝缘岛结构沿长轴线对称分布在柔性密封顶盖的顶部内侧面上，并分布于S形加热元件与S形感温元件之间的上方。本发明的加速度传感器适用于柔性设备，并具有灵敏度高、响应时间快、功耗低的特点。其制备方法简便，成本低廉，可大规模制备。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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