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红外探测器模组的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011563618.0
  • IPC分类号:H01L23/043;H01L23/26;G01J5/04
  • 申请日期:
    2020-12-25
  • 申请人:
    广东先导稀材股份有限公司
著录项信息
专利名称红外探测器模组的制造方法
申请号CN202011563618.0申请日期2020-12-25
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-04-16公开/公告号CN112670250A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/043IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;0;4;3;;;H;0;1;L;2;3;/;2;6;;;G;0;1;J;5;/;0;4查看分类表>
申请人广东先导稀材股份有限公司申请人地址
广东省东莞市松山湖园区学府路1号12栋503室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东莞先导先进科技有限公司当前权利人东莞先导先进科技有限公司
发明人陈钢;曾广锋;高涛
代理机构北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙)代理人张婷婷;张向琨
摘要
本发明提供了一种红外探测器模组的制造方法,其包括步骤S1‑S8。在本申请的制造方法中,其利用面沉积工艺在陶瓷基板上通过金属层堆积方式形成金属围坝,并由此形成红外探测器模组的外壳体,而这种工艺方法能够根据需求直接控制外壳体的尺寸大小,从而使得形成的红外探测器模组满足小型化、轻型化、多样化的需求。并且,由金属围坝和陶瓷基板构成的外壳体与传统的陶瓷管壳结构相比,由于外壳体采用金属和陶瓷制成、且制作工艺简单,由此极大地降低了红外探测器模组的成本。此外,采用本申请的制造方法形成的红外探测器模组利用所述多个第四金属层取代传统的顶针输出方式,由此极大地降低了红外探测器模组在所述厚度方向上的尺寸。

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