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一种可用于激光调阻的探针盘

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202020098826.7
  • IPC分类号:G01R27/02;H01C17/242
  • 申请日期:
    2020-01-16
  • 申请人:
    北京七星华创微电子有限责任公司
著录项信息
专利名称一种可用于激光调阻的探针盘
申请号CN202020098826.7申请日期2020-01-16
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01R27/02IPC分类号G;0;1;R;2;7;/;0;2;;;H;0;1;C;1;7;/;2;4;2查看分类表>
申请人北京七星华创微电子有限责任公司申请人地址
北京市平谷区中关村科技园区平谷园马坊工业园2区23号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京七星华创微电子有限责任公司当前权利人北京七星华创微电子有限责任公司
发明人苗春蕾;甘志华
代理机构北京维正专利代理有限公司代理人罗焕清
摘要
本实用新型涉及一种可用于激光调阻的探针盘,属于混合集成电路的电阻修调设备的技术领域,其技术方案要点是一种可用于激光调阻的探针盘,包括外框、接口端、探针焊接盘和引线,接口端固定在外框的一侧,探针焊接盘固设于外框上,引线的两端分别与接口端和探针焊接盘相连接,所述外框的中心位置向内凹陷形成放置槽,探针焊接盘固设于放置槽内并靠近放置槽的中间位置处设置,引线叠放在放置槽远离中心的位置处设置,且引线与放置槽固定相连,达到确保正常修调电阻的效果。

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