一种基板的表面处理工艺

发明专利有效专利

申请号：
CN201610301332.2
IPC分类号：H01L21/02;C03C23/00
申请日期：
2016-05-09
申请人：
浙江海洋大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种基板的表面处理工艺
申请号	CN201610301332.2	申请日期	2016-05-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-09-21	公开/公告号	CN105957800A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;C;0;3;C;2;3;/;0;0查看分类表>
申请人	浙江海洋大学	申请人地址	浙江省舟山市普陀区朱家尖街道大同路127号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江海洋大学	当前权利人	浙江海洋大学
发明人	余璇;于晓明;陈立桥;潘洪军
代理机构	杭州杭诚专利事务所有限公司	代理人	尉伟敏

摘要

本发明涉及一种基板的表面处理工艺，将基板浸入玻璃洗涤剂内，洗净后用去离子水清洗；浸入附着力促进液中，超声处理然后取出加入丙酮超声处理取出后使用去离子水冲洗，然后使用氮气将基板吹干；浸泡在有机溶剂内，避光保存。本发明使用清洗、超声、冲洗、干燥、浸泡处理工艺处理的基板材料，能够利用有机溶剂与基板表面的缓慢反应最大限度的去除表面油污残留，并改善基板表面浸润性，能够增强基板后续镀膜的附着力及均匀性，该方法操作简单，无需其他处理设备，可在室温下空气中制备，与大面积商业化生产制备工艺相兼容。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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