大面积大气等离子体均匀放电电极

发明专利无效专利

申请号：
CN201310177068.2
IPC分类号：H05H1/24
申请日期：
2013-05-14
申请人：
哈尔滨工业大学

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著录项信息

专利名称	大面积大气等离子体均匀放电电极
申请号	CN201310177068.2	申请日期	2013-05-14
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-08-28	公开/公告号	CN103269556A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/24 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;2;4查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	王波;金会良;姚英学;李娜;车琳;辛强;金江;李铎
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

大面积大气等离子体均匀放电电极，本发明属于光学加工领域。它是为了解决现有大面积大气等离子体放电产生的交变电流在趋近电极边缘处有电流密度增大的趋肤效应，导致大面积电极放电不均匀，而严重影响了大气等离子体加工技术的精度和效率的问题。它的形状为扁片形；其放电面上设置有多个凸起形微电极，所有凸起形微电极的形状尺寸相同，所有凸起形微电极与相邻凸起形微电极的相互之间的距离都相等，所有凸起形微电极的放电表面都与其相对的被加工面的距离相等。本发明能实现大气等离子体大面积均匀放电，避免了大气环境下连续表面电极激发等离子体因趋肤效应和边缘放电效应导致放电不均匀现象，从而有效提高大气等离子体加工精度和效率。

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