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一种外延层刚性-柔性衬底无机键合转移方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810386947.9
  • IPC分类号:H01L31/18;H01L21/683
  • 申请日期:
    2018-04-26
  • 申请人:
    上海空间电源研究所
著录项信息
专利名称一种外延层刚性-柔性衬底无机键合转移方法
申请号CN201810386947.9申请日期2018-04-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-09-28公开/公告号CN108598218A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人上海空间电源研究所申请人地址
上海市闵行区东川路2965号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海空间电源研究所当前权利人上海空间电源研究所
发明人范襄;于振海;沈静曼;付坤;雷刚;王凯;马聚沙;王训春;杨广
代理机构上海元好知识产权代理有限公司代理人贾慧琴
摘要
本发明公开了一种外延层刚性‑柔性衬底无机键合转移方法,该方法包含:分别在外延片和柔性衬底的表面镀制键合金属层,并进行热压键合,得到柔性衬底‑外延片;在刚性支撑衬底和柔性衬底‑外延片的柔性衬底上分别镀制无机键合金属层,并进行热压可逆键合;将外延片制备成太阳电池器件;通过加热进行刚性支撑衬底剥离,完成外延层刚性‑柔性衬底转移。其中,外延片包含:生长衬底,以及在该生长衬底上生长的太阳电池材料;太阳电池器件的刚性支撑衬底的热剥离温度不低于键合金属层材料的熔点。本发明的方法在键合过程无有机污染,实现一步外延‑转移键合,转移的外延层厚度均匀一致,与现有太阳电池器件工艺兼容性好。

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