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使用小晶粒尺寸的阴极材料的离子泵惰性气体稳定性

发明专利有效专利

申请号：
CN201811257859.5
IPC分类号：C23C14/34
申请日期：
2018-10-26
申请人：
爱德华兹真空泵有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	使用小晶粒尺寸的阴极材料的离子泵惰性气体稳定性
申请号	CN201811257859.5	申请日期	2018-10-26
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-05-03	公开/公告号	CN109706426A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	爱德华兹真空泵有限责任公司	申请人地址	美国纽约州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	爱德华兹真空泵有限责任公司	当前权利人	爱德华兹真空泵有限责任公司
发明人	A.怀诺拉德
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	邹松青;谭祐祥

摘要

本发明涉及方法，所述方法包括：评定多个钛板以确定每个板的晶粒尺寸；以及从所述多个钛板移除具有大于阈值尺寸的平均晶粒尺寸的所有钛板。然后，使用在移除步骤之后保留在所述多个钛板中的钛板中的一个来形成离子泵的阴极。

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