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片材剥离方法以及片材剥离装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110207868.9
  • IPC分类号:H01L21/683;H01L21/67;H01L21/687
  • 申请日期:
    2021-02-24
  • 申请人:
    琳得科株式会社
著录项信息
专利名称片材剥离方法以及片材剥离装置
申请号CN202110207868.9申请日期2021-02-24
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-09-10公开/公告号CN113380688A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人琳得科株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人琳得科株式会社当前权利人琳得科株式会社
发明人山田忠知;毛受利彰;高野健;丸山政德
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人韩锋
摘要
片材剥离方法是从在粘接片材(AS)上贴附有被粘接体(CP)的一体物(UP)将该粘接片材(AS)剥离的方法,实施以下工序:片材抵接工序,其使具有形成有多个凸部(12A)的凸部形成面(12B)的片材抵接机构(10)中的该多个凸部(12A)的顶点(12C)抵接于一体物(UP)中的粘接片材(AS);被粘接体支承工序,其通过被粘接体支承机构(20)对一体物(UP)中的被粘接体(CP)进行支承,并且与使多个凸部(12A)的顶点(12C)抵接于粘接片材(AS)的片材抵接机构(10)一起夹住一体物(UP);片材吸引工序,其将所夹住的一体物(UP)中的粘接片材(AS)吸引于凸部形成面(12B)。

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