具有壳体的半导体气体传感器和测量气体浓度的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN00806254.4
IPC分类号：--
申请日期：
2000-04-11
申请人：
伊德斯德国股份有限公司

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著录项信息

专利名称	具有壳体的半导体气体传感器和测量气体浓度的方法
申请号	CN00806254.4	申请日期	2000-04-11
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2002-05-01	公开/公告号	CN1347498
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	伊德斯德国股份有限公司	申请人地址	德国慕尼黑变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	伊德斯德国股份有限公司	当前权利人	伊德斯德国股份有限公司
发明人	G·米勒;T·贝克
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	郑立柱;张志醒

摘要

用于测量例如CO、NOx、O3等的半导体－气体传感器有可以加热的传感元件(1)用于测量气体浓度,以及有壳体(2),在其内部空间(20)安装传感元件(1)。壳体(2)有第一个开口(3),这个开口将内部空间(20)与外部空间相连接。在壳体(2)内安排了一个或多个第二个开口4a,4b,这些低于第一个开口(3),则通过对流驱动气体流从第二个开口(4a,4b)到第一个开口(3)。半导体－气体传感器可以由硅用微工艺制成。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN104062152A	2014-03-18	2014-03-18	用于车辆的废气引导元件、废气测量装置及用于制造废气引导元件的方法失效专利	罗伯特·博世有限公司
2	CN1759315B	2003-07-28	2003-07-28	通过催化转化提高分析灵敏度有效专利	普林斯顿大学理事会
3	CN103477220B	2012-01-10	2012-01-10	用于气体传感器的运行方法以及气体传感器有效专利	罗伯特·博世有限公司
4	CN103477220A	2012-01-10	2012-01-10	用于气体传感器的运行方法以及气体传感器有效专利	罗伯特·博世有限公司
5	CN104977190A	2015-03-04	2015-03-04	传感器装置和用于分析过程室内混合气体的方法无效专利	西门子公司

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