一种离子注入浓度调节装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922120883.0
IPC分类号：H01J37/317;H01J37/30
申请日期：
2019-11-29
申请人：
济南晶正电子科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种离子注入浓度调节装置
申请号	CN201922120883.0	申请日期	2019-11-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/317 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/317 用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;1;7;;;H;0;1;J;3;7;/;3;0查看分类表>
申请人	济南晶正电子科技有限公司	申请人地址	山东省济南市高新区港兴三路北段1号济南药谷研发平台1号楼B1806 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	济南晶正电子科技有限公司	当前权利人	济南晶正电子科技有限公司
发明人	李真宇;韩智勇;罗具廷;张秀全;薛海蛟
代理机构	北京弘权知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本申请提供的离子注入浓度调节装置中，在离子束扫描模块和基片之间设置离子浓度调整装置，离子浓度调整装置包括外框和扇叶，扇叶在外框齿轮的啮合作用下转动，扇叶旋转时在距离中心不同距离处对扫描后的离子束起到不同程度的分时遮挡效果；设计特定的扇叶形状就可以起到特定调节效果。例如设计从中心到边缘逐渐变窄的扇叶，扇叶旋转时离子被扇叶吸收，则从中心到边缘处被扇叶吸收的离子数目呈现出增加趋势，因此离子通道的边缘处离子密度大，进而离子浓度高，而离子通道的中间离子密度小，进而离子浓度低，进而实现了离子注入浓度从离子通道的边缘至中心逐渐减小的趋势，退火剥离时应力的释放就会被分散，进而避免薄膜层碎片。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供