远程等离子源的调整装置及远程等离子源清洗系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201811080975.4
IPC分类号：B08B9/08;B08B13/00
申请日期：
2018-09-17
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	远程等离子源的调整装置及远程等离子源清洗系统
申请号	CN201811080975.4	申请日期	2018-09-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-03-24	公开/公告号	CN110899271A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B9/08 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B9/00 用专门的方法或设备清洁空心物品（B08B 3/12，B08B 6/00优先）〔2〕 B08B9/08 清洗容器，如槽的清洗	IPC分类号	B;0;8;B;9;/;0;8;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	北京北方华创微电子装备有限公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	魏景峰;荣延栋
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	彭瑞欣;张天舒

摘要

本发明提供一种远程等离子源的调整装置，设置在远程等离子源与反应腔室之间；调整装置包括固定支架和至少三个调整组件，其中，固定支架设置在反应腔室的顶部；每个调整组件分别与远程等离子源和固定支架连接，并且每个调整组件用于调节远程等离子源与该调整组件连接位置处的高度。本发明提供的远程等离子源的调整装置能够将远程等离子源调整至水平位置，使密封圈压缩量均匀，避免清洗气体泄漏，且便于对远程等离子源的维护。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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