基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510764605.2
IPC分类号：G01N27/00
申请日期：
2015-11-11
申请人：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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著录项信息

专利名称	基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器及其制备方法
申请号	CN201510764605.2	申请日期	2015-11-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2017-05-24	公开/公告号	CN106706710A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R）	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	申请人地址	上海市长宁区长宁路865号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	当前权利人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人	李铁;郭联峰;梁晨;王跃林
代理机构	上海光华专利事务所	代理人	余明伟

摘要

本发明提供一种基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器及其制备方法，包括以下步骤：1）提供石墨烯及微加热器平台衬底，将石墨烯转移至微加热器平台衬底上；2）将表面覆盖有石墨烯的微加热器平台衬底置于化学气相沉积反应炉中；3）采用惰性气体对反应炉进行通气及排气处理；4）于第一温度下向反应炉内同时通入惰性气体及氢气；5）于第二温度下向反应炉内通入惰性气体、氢气及硫源气体进行反应，以对石墨烯进行硫掺杂；6）停止通入硫源气体，于氢气及惰性气体保护气氛中进行降温。本发明的制备方法可采用圆片级衬底，实现圆片级制备，达到批量制造的水平，大大降低生产成本；制备的气体传感器对氮氧化物气体分子具有较高的灵敏度和选择性。

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