臭氧浓度检测装置、检测系统及检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110320294.6
IPC分类号：G01N33/00
申请日期：
2021-03-25
申请人：
拓荆科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	臭氧浓度检测装置、检测系统及检测方法
申请号	CN202110320294.6	申请日期	2021-03-25
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-10	公开/公告号	CN113237997A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N33/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N33/00 利用不包括在G01N 1/00至G01N 31/00组中的特殊方法来研究或分析材料	IPC分类号	G;0;1;N;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人	拓荆科技股份有限公司	申请人地址	辽宁省沈阳市浑南区水家900号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	拓荆科技股份有限公司	当前权利人	拓荆科技股份有限公司
发明人	柳雪;杨德赞;张义明;祁广杰;刘镇颉
代理机构	沈阳维特专利商标事务所（普通合伙）	代理人	陈晖

摘要

本发明公开了一种臭氧浓度检测装置、检测系统及检测方法，其中臭氧浓度检测装置包括臭氧进气管路、臭氧出气管路、臭氧浓度计和控制盒，所述臭氧浓度计两端分别和臭氧进气管路、臭氧出气管路连接，所述控制盒安装于臭氧浓度计上；其中所述控制盒包括用于给所述臭氧浓度计供电的电源模块及数字显示器、臭氧浓度采集、检测单元。本发明提供的一种臭氧浓度检测装置，可以作为一个独立的工装应用于同一机台或者不同机台，检测不同设备的臭氧浓度；将该装置置于检测系统中，能够精确检测臭氧进入腔体前的浓度，检测时间快，应用一种臭氧浓度检测方法可以实现现场检测，成本低，具有生产经济价值，可以帮助解决不同腔体之间的工艺差异性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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