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转换装置、包括转换装置的沉积装置、用于转换流体流的方法以及用于将颗粒沉积到基板上的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202080015636.7
  • IPC分类号:B05B7/00;B05B7/12;B82Y30/00;B05B12/18
  • 申请日期:
    2020-01-16
  • 申请人:
    VS粒子控股有限公司
著录项信息
专利名称转换装置、包括转换装置的沉积装置、用于转换流体流的方法以及用于将颗粒沉积到基板上的方法
申请号CN202080015636.7申请日期2020-01-16
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-10-12公开/公告号CN113498363A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B05B7/00IPC分类号B;0;5;B;7;/;0;0;;;B;0;5;B;7;/;1;2;;;B;8;2;Y;3;0;/;0;0;;;B;0;5;B;1;2;/;1;8查看分类表>
申请人VS粒子控股有限公司申请人地址
荷兰代尔夫特 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人VS粒子控股有限公司当前权利人VS粒子控股有限公司
发明人卡塔琳娜·韦伯;马克斯·库尔;托比亚斯·文森特·菲弗
代理机构北京高沃律师事务所代理人石佳
摘要
本发明涉及一种用于转换流体流动的转换装置(120),其中,转换装置(120)包括流体导管(126)、第一转换流体导管(131)、排气导管(125)以及控制装置(127),该流体导管(126)包括用于流体的第一入口(121)和第一出口(122),该第一转换流体导管(131)包括用于转换流体的第二入口(123),该第一转换流体导管(131)被配置成在第一入口(121)与第一出口(122)之间的第一位置(133)处与流体导管(126)流体连接,该排气导管(125)包括第二出口(124),该排气导管(125)被配置成在第一入口(121)和第一位置(133)之间的第二位置(134)处与流体导管(126)流体连接,该控制装置(127)被配置成用于控制流入流体导管(126)中的转换流体。其中,转换装置(120)进一步包括第二转换流体导管(132),该第二转换流体导管(132)被配置成与排气导管(125)和第一转换流体导管(131)流体连接。其中,控制装置(127)被配置成用于控制转换流体流入第一转换流体导管(131)和/或第二转换流体导管(132)。

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