水晶振子及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN02126574.7
IPC分类号：--
申请日期：
2002-07-24
申请人：
慧萌高新科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	水晶振子及其制造方法
申请号	CN02126574.7	申请日期	2002-07-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-10-15	公开/公告号	CN1449109
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	慧萌高新科技有限公司	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	慧萌高新科技有限公司	当前权利人	慧萌高新科技有限公司
发明人	高桥直行;中村高远;野中智;屋木博己;神力洋一;玉贯胜美
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	谷惠敏;关兆辉

摘要

本发明揭示了利用基体材料和基体材料上形成的水晶薄膜制造的水晶振子及其制造方法。本发明中水晶振子的水晶振动片(2)是加工基体材料结晶(5)的表面上外延生长的水晶薄膜而形成的。激振前述水晶振动片(2)所必要的电极(3a)等是以金属蒸镀层形成的。作为前述基体材料(1)的结晶可以用单元素半导体、化合物半导体或者氧化物结晶。基体材料用半导体，其中设置半导体电路，可以达到与振子一同模块化利用的目的。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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