喷墨印刷系统和处理晶圆的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201580039537.1
IPC分类号：H05K1/02H05K3/12H01L21/68
申请日期：
2015-07-21
申请人：
梅耶博格（荷兰）有限公司

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著录项信息

专利名称	喷墨印刷系统和处理晶圆的方法
申请号	CN201580039537.1	申请日期	2015-07-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-04-26	公开/公告号	CN106605453A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05K1/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05K 印刷电路；电设备的外壳或结构零部件；电气元件组件的制造（其他类目不包括的仪器零部件或其他设备的类似零部件入G12B；薄膜或厚膜电路入H01L 27/01，H01L 27/13；用于对印刷电路或印刷电路之间的电连接的非印刷方法入H01R；用于特殊类型设备的外壳或其结构零部件，见有关小类；仅包括单一工艺的加工方法，例如已列入其他类目的加热、喷射，见有关的类） H05K1/00 印刷电路（多个单个半导体器件或固态器件的组装件入H01L 25/00；由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件组成的器件，例如集成电路，薄膜或厚膜电路，入H01L 27/00） H05K1/02 零部件	IPC分类号	H05K1/02;H05K3/12;H01L21/68查看分类表>
申请人	梅耶博格（荷兰）有限公司	申请人地址	荷兰艾恩*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	梅耶博格（荷兰）有限公司	当前权利人	梅耶博格（荷兰）有限公司
发明人	约翰·维黑杰;劳伦修斯·亨德瑞库斯·阿德里安努斯·万蒂耶克
代理机构	北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司	代理人	王达佐;王艳春

摘要

用于处理晶圆的喷墨印刷系统和方法，用于处理高容量的晶圆(W)的喷墨印刷系统(10)。该喷墨印刷系统包括晶圆(W)可被放置在其上的夹头(14)、及具有至少一个喷嘴的喷墨印刷头(16)。每个夹头都与单个照相机(26)有关联。每个夹头都包括二维视觉基准。电子控制器组件(22、24)配置成在晶圆已被放置在夹头上每个实例中拍摄含有晶圆边缘和二维视觉基准的单个图像。对于每个图像(I)，确定夹头(14)相对照相机(26)的位置和晶圆(W)相对照相机(26)的位置。随后，计算相对该夹头的晶圆位置，以及基于此，定时至少一个喷嘴的引发，且控制印刷动作组件的运动，以使得液滴被精确地定位在该晶圆上。

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喷墨印刷系统和处理晶圆的方法

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