用于半导体测试的自由活塞斯特林冷却器温度控制系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201810028522.0
IPC分类号：F25B9/14
申请日期：
2018-01-12
申请人：
森萨塔科技公司

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著录项信息

专利名称	用于半导体测试的自由活塞斯特林冷却器温度控制系统
申请号	CN201810028522.0	申请日期	2018-01-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-07-20	公开/公告号	CN108302836A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F25B9/14 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F25 制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化 F25B 制冷机，制冷设备或系统；加热和制冷的联合系统；热泵系统（热传导、热交换或热贮存材料，即制冷剂，或通过化学反应而不是燃烧产生热或冷的材料入C09K 5/00；泵、压缩机入F04；用热泵为住宅或场所供热或提供家用热水入F24D；空调，空气增湿入F24F；采用热泵的流体加热器入F24H） F25B9/00 采用空气或其他低沸点气体为制冷剂的压缩机器、装置或系统 F25B9/14 以循环为特征的，例如斯特林循环〔5〕	IPC分类号	F;2;5;B;9;/;1;4查看分类表>
申请人	森萨塔科技公司	申请人地址	美国马萨诸塞变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	森萨塔科技公司	当前权利人	森萨塔科技公司
发明人	T·F·莱姆克兹克;D·L·韦斯顿;C·A·洛佩斯;R·A·戴维斯
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	曾祥生

摘要

本发明涉及用于半导体装置测试的便携式冷却系统和设备，其包括自由活塞斯特林冷却器。这消除了对诸如冷却装置、压缩机、冷却剂存储设备、软管和软管连接等繁琐的远程设备的需求。电力线路和空气供应线路从头部控制单元路由到便携式系统控制单元。头部控制单元通过可调节框架结构定位，以将斯特林冷却器竖直地直接定位在被测半导体装置上方。头部控制单元包括热适配器系统，其被配置在自由活塞斯特林冷却器和被测半导体装置之间。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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